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中介層散射共焦顯微儀器技術(shù)研究進(jìn)展

發(fā)布者:宋珊珊發(fā)布時(shí)間:2021-09-23瀏覽次數:38

哈工大劉儉教授團隊提出了中介層散射共焦顯微儀器技術(shù)及理論,建立了基于輔助介質(zhì)層熒光散射信號成像的光學(xué)測量新機制,克服了復雜曲面幾何參數測量中的反射逃逸、反射振蕩和介觀(guān)透波三種測量效應。原始論文作為封面文章發(fā)表在英國皇家顯微學(xué)會(huì )會(huì )刊J Microscopy。研究成果在航天、國防領(lǐng)域得到系列應用,填補非接觸測量輪廓儀行業(yè)空白,解決了重大型號關(guān)鍵部件輪廓參數測量難題。

此外,劉儉教授團隊在國際上率先確立了光學(xué)探針三維測量高度表征定值與儀器校準的理論方法(簡(jiǎn)稱(chēng),LEL準則),明確給出了光學(xué)顯微測量三維高度校準定值的科學(xué)評定方法,結束了依賴(lài)經(jīng)驗性評定準則的歷史,從理論上揭示了臺階高度深寬比與校準結果之間的關(guān)系,填補了相關(guān)ISO國際計量標準的理論空白。理論成果不僅用于制定中國首個(gè)共焦顯微鏡的國家標準,同時(shí)被國際同行認同,收錄到ISO國際標準。這是幾何產(chǎn)品技術(shù)規范領(lǐng)域首個(gè)被國際標準采納的由中國命名的計量準則。


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